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상품명 : 안면인식 열감지기 IS-SIR 3000
- 판매가 : 2,000,000원

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KS-41 (파티클 센서)

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기본 정보
상품명	KS-41 (파티클 센서)
제조사	RION
원산지	일본
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기술자료

액체 파티클카운터

KS-41 (파티클 센서)

ㆍ파티클 센서
ㆍPARTICLE SENSOR
ㆍ포토레지스트(Photoresist)용액 대응
ㆍ포토레지스트(Photoresist)용액의 0.15μm 입자의 검출을 실현
ㆍ반도체 제조 공정용의 포토레지스트(PHOTORESIST)용액이나 SOG등에 0.15μm로 대응

제품특징

반도체 제조 공정용의 포토레지스트(photoresist) 용액이나 SOG 등에 0. 15μm로 대응
* 포토레지스트(photoresist) 용액의0.15μm입자 검출을 실현
* batch, on-line , 다점 감시 시스템의 구축이 가능
* leak detector내장. leak는 센서가 탐지해 표시
* 콘트롤러·KE -40/KE -40A , Syringe Sampler ·KZ -30W1와 병용 해 고정밀의 레지스터용 파티클 카운터 시스템을 구성

광학계 방식	90°측방 산란 방식
측정 대상	불 산을 제외한 , 산 , 알칼리 , 용제 , 순수 등
Cell 재질	합성 석영 ,PFA
측정 입경 범위	0.15~0.5μm(굴절률1.6의 순수중의 PSL의 경우)
입경 구분	0.15,0.2, 0.3, 0.5 μm의 각 입경 이상의 4 단계
계수 효율	50±10%(입경0.3μm 부근의PSL입자를 측정해 ,0.2μm 이상의 계수치를 , reference unit와 비교했을 경우)
시료 액체 유량	10 mL/min
최대정격 입자 농도	1200개/mL(0.1μm입자에 대해 계수 손실5%시)
시료 온도 범위	15~35℃(셀부에 결로를 일으키지 않은 것)
시료 압력 범위	300kPa이하(게이지압)
전원	콘트롤러 KE-40(또는KE-40A) 에서 공급 ,AC100~240V
크기/무게	약300(W)×160(H)×250(D)mm(최대 치수) , 약7.5 kg

* 전화주문 : 031-704-2401 팩스주문 : 031-704-2421 메일주문 : aaa@a-a.co.kr

입금계좌 : 국민은행 298737-04-004838 예금주 :아이에스테크주식회사

*카드결제는 홈페이지 상에서 지원되지 않습니다. 카드결제를 이용하실 분들은 031-704-2401로 연락 바랍니다.

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