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KS-93 (파티클 센서)

기본 정보
상품명 KS-93 (파티클 센서)
제조사 RION
원산지 일본
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기술자료

 


가스 파티클카운터


KS-93 (파티클 센서)


ㆍ파티클 센서
ㆍGas Particle Counter In-Line Type
ㆍ반도체 특수 가스용 인 라인 프로세스 카운터 센서

제품특징

* 반도체 특수 재료가스의 직접측정이 가능·
* 최소측정 입경 0.1μm ,300mL/min을 실현· Total Gas 시스템의 크린 컨트롤에 위력을 발휘 ·
* ERT 가스는 물론 부식성, 반응성 가스등을 직접측정.
* 리크 아웃가스, 데드 스페이스 프리를 실현
* 리얼타임 모니터링시스템의 구축이 가능<RP 모니터/KF -02B>



광학계 방식90°측방 산란 방식
광원반도체 레이저
수광 소자PIN포토 다이오드
측정 대상수소,질소, 아르곤 등의 각종 가스
가스 접촉부 재질합성 석영 , SUS316L,불소고무
입경 구분0.1, 0.15, 0.2, 0.3, 0.5μm의 각 입경 이상의5단계
시료 액체 유량100mL/min 최대300mL/min
최대 개수 농도30,000개/mL(0.1μm부근의 입자에 대해 계수 손실5%시)
크기·무게약276(W)×135(H)×150(D)mm, 약6.5 kg



* 전화주문 : 031-704-2401 팩스주문 : 031-704-2421 메일주문 : aaa@a-a.co.kr

  입금계좌 : 국민은행 298737-04-004838  예금주 :아이에스테크주식회사


*카드결제는 홈페이지 상에서 지원되지 않습니다. 카드결제를 이용하실 분들은 031-704-2401로 연락 바랍니다.
 
     

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