표면 입자 탐지기  QIII+®

생산성을 재정의

어떻게 도구의 청결을 측정합니까? 국방부 기술 'QIII + ®, 녹색 - 투 - 녹색 시간 PM 복구 시간을 획기적을 감소하고, 팹의 전체 처리량을 늘릴 수 있습니다.

QIII를 사용하여 + ®, 당신이 바로 0.3 미크론으로 입자를 감지하고 생산 도구 이내에 집중하실 수 있습니다. PM주기 접근 방식이 사전은 30 %와 50 % 이상으로 입자 의 감소까지 절감됩니다. . 깨끗한 시작의 결과는 처리 도구가 훨씬 더 많은 생산성을 만드는 모든 입자 크기에 처음으로 복구됩니다.

Benefits 혜택

• 예측, 처음 도구 복구, 때마다
• 25-50%하여 복구 시간을 단축
• 절감 양념 및 테스트 웨이퍼
• 펌프 퍼지주기를 줄입니다
• 4X 이상으로 MTBC을 증가
• 도구 가용성을 향상
• PM 사이클 시간을 단축
• 문제 해결 이벤트를 절감
• 
  

First Time PM recovery

PM 복구 시간은 50 % 이상 줄일 수 있으며, 입자은 사전에 일반적인 PM 중에 입자를 감지하고 청소하여 규모 이하의 주문에 의해 줄일 수있다. 예를 들어, 다음과 같은 방정식이 각각 오후의 펌프 / 퍼지 순환의 감소로 인한 어떻게 특정 지역과 관련된 청소를 검토, 크게 연간 반환 영향을 줄 수 있습니다.

(Chambers x PMs x 12 months) x (Time saved x Value/hr.) = Annual savings

Chambers in fab = 63 (21 tools; 3 process chambers each)

PMs/month/chamber = 1

Time saved per PM = 1.5 hours (1.5 pump/purge cycles eliminated; 1 hour each)

Value per hour of tool time = $10,000

Annual savings = $11,340,000
(63 × 1 × 12) x (1.5 x $10,000) = $11,340,000

증가 MTBC

통합으로 QIII가 + ®, 입자를 제어 청소 (MTBC) 사이 시간을 의미 PM 과정에서 증가 수 있습니다.

Example 1: 300mm Dielectric Etch tool

MTBC pre- QIII +®: 174 rf hrs MTBC

MTBC post- QIII +®: 300 rf hrs

CoO savings per tool per month: $13,200

ROI : 3.6 months

Example 2: 300mm Metal etch tool

MTBC pre- QIII +®: 40 rf hrs MTBC

MTBC post- QIII +®: 110 rf hrs

CoO savings per tool per month: $85,200

ROI : 0.6 months

CoO calculated using Tool Cool software from Wright Williams & Kelly, Inc.

Troubleshooting 문제 해결

300mm PECVD 도구는 입자 문제가 2 개월 동안 다운되었습니다. 부품 교체 개월 다음으로 젖은 채 청소를 반복하며 문제는 OEM으로 변모한되었습니다. QIII + ®은 높은 입자 영역을 식별하기 위해 챔버 입자를 매핑하는 데 사용되었다. 집중 문제 해결이 QIII에 따라 수행했던 것은 + ® 데이터 결과 :. QIII +와 도구를 사용하여 2 일 동안에 해결 문제는 바로 생산으로 돌아왔습니다.

Technical Data 기술 자료

• Size: 9.4” W x 17” D x 12” H
• Input power: 100-240 VAC , 50/60 Hz
• Display: 6.5” FPD with touch screen
• GUI : Windows CE
• Sensor: Laser diode with 0.3μ sensitivity
• Output: Ethernet
• Probe Faceplate Material: Vespel
• Particle Analysis Module (optional)
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Probe Options 프로브 옵션

Standard:

1/2” Right Angle and 5/8” Pencil Probe or 1/2” Right Angle and 2” Straight

Optional:

3” Straight; 2” and 3” Right Angle

65 mm Cassette

Custom available on request