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측정 오차 |
U952D = 7+(6.5L/1000)µm 짧은 측정 길이를 통해 정확성을 향상 시킬 수 있습니다. |
비디오 카메라 |
고해상도 컬러 CCD 비디오 카메라. |
배율 옵션 (시스템 전체) |
빠른 변화 배율 옵션 - 10X, 100x 20x, 50x, |
측정 Stage |
정교한 측정 Stage는 Non-Linear Error Correction (NLEC)가 사전 조정되어 제공. |
측정 범위 (X, Y) |
150mm X 100mm (10kg의 최대 하중) |
높이 조정 |
100mm 높이 조정 |
Encoder Resolution |
X = 1μm Y = 1μm |
조명 |
Twin semi-coaxial spot lamps, 또는 정확한 색 온도의 LED 표면 조명 중 선택 가능 n 표면 및 Substage 조명 옵션은 모든 응용 프로그램에 맞게 조명의 조정을 가능하게 합니다. n Substage 조명은 프로필에 측정할 수 있는 기능을 제공합니다. |
치수 |
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